ASMLが最初の先進パッケージング用大視野露光装置を展示

金十データ11月7日付け、第8回中国国際輸入博覧会(CIIE)で、半導体装置サプライヤーのASMLは一部の全景露光装置と技術を展示しました。その中で、DUV露光機にはTWINSCAN XT:260、TWINSCAN NXT:870Bが含まれます。TWINSCAN XT:260は、ASMLの最初の先進パッケージング分野に対応したi-line露光システムで、大きな視野露光を特徴とし、既存のモデルと比較して生産効率を4倍向上させることができます。TWINSCAN NXT:870Bは、アップグレードされた光学素子と最新世代の磁悬浮プラットフォームのサポートにより、1時間あたりのウエハー生産量(wph)が400枚以上を実現します。

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